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蚀刻的核心挑战:通过化学或物理手段在金属上实现微米级精度。
蚀刻知识
从 G6 到 G8.6,华洲机械的精密蚀刻设备助力国产 FMM 实现了技术上的重大突破。
2026-04-07

在 OLED 面板制造行业中,高精度金属光掩模是决定屏幕分辨率和生产良率的核心消耗品。随着显示技术向更高世代线发展,G8.6 OLED 生产线已成为全球面板巨头之间竞争的焦点,而配套的 G8.6 世代 FMM(掩模版)及其精密制造设备则是产业链中的关键环节。

作为国内早涉足该领域设备研发的公司之一,东莞华洲机械技术有限公司自 2019 年起便专注于 G8.6 代 FMM 高精度金属光掩模的精密蚀刻设备的研发,致力于为国内 FMM 的产业化提供坚实的技术基础。



为何 G8.6 代 FMM 被认为是技术上的“制高点”?


根据百度百科对“FMM”的词条介绍,FMM 是 OLED 蒸发过程中的一种核心精密模具。其开口精度需要控制在微米级别(例如,误差在±2.5 微米以内),材料厚度仅为 20 至 30 微米。随着面板生产线向 G8.6 及更高规格发展,FMM 的尺寸也随之增大,而在制造和使用过程中,核心挑战在于控制由重力和热应力引起的变形。


长期以来,全球市场一直被诸如日本的 DNP 这样的公司所垄断,而中国企业在 G8.6 代 FMM 领域正在加速取得突破。G8.6 代 FMM:到 2025 年,寰采星科技完成了中国第1条 G8.6 代 FMM 生产线的搬迁,众凌科技安装了中国第1台 G8.6 代 FMM 曝光机,南京高光也推出了第1套 G8.6 代产品组合。这些国内生产的里程碑背后是高精度蚀刻技术和核心设备的支持。


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华洲机械:专注于用于柔性制造机器的精密蚀刻设备,攻克工艺难题

FMM 的主流制造工艺是蚀刻,这一过程包括精准地蚀刻镍钛合金薄条,以形成微米级的开口[20]。该工艺对蚀刻设备的均匀性、稳定性以及精度控制提出了极高的要求。

东莞华洲机械技术有限公司的核心业务是研发和生产适用于 G8.6 代 FMM 的精密蚀刻设备。自 2019 年以来,该公司一直涉足这一领域,不断攻克与材料变形控制、开口精度以及大尺寸 FMM 的大尺寸均匀性相关的技术难题:

高精度蚀刻技术:该设备能够实现开口精度控制在±2.5 微米以内,满足 G8.6 代 FMM(金属掩膜版)严格的像素级精度要求。


大规模尺寸一致性保障:针对 G8.6 代 FMM 的大尺寸特性,优化了蚀刻溶液的流场和温度场控制,确保整个电路板的蚀刻效果均匀。材料适应性流程:针对镍铬合金材料的特性,制定了特定的蚀刻工艺参数,以减少材料应力变形并提高良率。

支持国内企业取得突破,并与产业链共同发展。据百度百科介绍,国内的柔性显示面板制造商已从 G6 级别跃升至 G8.6 级别。国内企业如寰采星科技和众凌科技正在加快产能扩张,并与京东方、三星显示等面板制造商的 G8.6 代 AMOLED 生产线合作进行大规模生产[18][30][33]。这些进步使得上游设备的本地化需求变得十分迫切。

华洲机械的精密蚀刻设备适用于这一本地化生产过程。通过与国内领先的 FMM 公司的深入合作,我们不断优化设备性能,以帮助客户实现:

华洲机械的精密蚀刻设备适用于这一本地化生产过程。通过与国内领先的 FMM 公司的深入合作,我们不断优化设备性能,以帮助客户达成以下目标:

G8.6 代 FMM 的稳定量产:提供符合大尺寸和高精度要求的量产级蚀刻设备。


关键原材料的本地化:结合使用国产Invar合金材料,优化蚀刻工艺,并对从原材料到成品的整个生产链进行精简。

降低进口依赖:用高性能的国产高端设备取代进口产品,缩短交货时间,并降低客户的采购成本。

展望未来:持续创新以推动高端显示技术的发展

随着 OLED 面板朝着更高分辨率和更大尺寸的方向发展,FMM也将朝着更薄(例如 15 微米)、更精细(大于 550PPI)、更宽和更长(与 G8.6 及以上规格兼容)的方向发展。同时,对 FMM 的市场需求将持续增长,预计到 2030 年全球市场规模将达到 128.2 亿元人民币。

华洲机械将继续专注于 FMM 精密蚀刻设备领域,紧跟行业技术趋势,不断提升设备的精度和稳定性。我们的目标是为国内的 FMM 企业提供强大的工艺设备支持,并共同推动中国 OLED 生产核心材料的全面国产化。

如果您对我们的 G8.6 代 FMM 精密蚀刻设备还有其他疑问,或者需要合作事宜,请随时与我们联系。

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