OLED 蒸发过程中的核心消耗品

FMM（高精度金属掩模）是中小型 OLED 面板蒸发工艺中的关键消耗品，直接决定了屏幕分辨率和生产良率。其核心材料是超级Invar合金，长期以来一直被日本和韩国企业所垄断。目前，国内企业已实现技术突破并开始大规模生产。2025 年 10 月，中领科技在其生产线完成了中国首台 G8.6 代 FMM 曝光机的安装，实现了高世代产品制造设备国产化的突破。

国内的 FMM 公司继续推进产能提升工作。黄石全洋光电科技有限公司成为国内第1家实现 6 代金属掩膜大规模量产的公司。寰采星科技完成了 8.6 代 OLED 的 FMM 试量产，并且众凌科技成为国内第1家向 G6 面板制造商交付大规模量产 FMM 的公司。南京高光实现了 2025 年 8 月首条 G8.6 代 CMM + FMM 产品的下线生产，产品孔径精度在±2.5 微米以内。鲁维光电在 2025 年启动了扩张计划，以提高高精度光掩模的本地化水平，并于 2026 年 1 月计划通过定向增发不超过 13.8 亿元的资金用于建设厦门高世代高精度光掩模生产基地的第1阶段项目。众凌科技完成了超过 4 亿元的 C 轮融资，资金将用于 G8.6 代产能扩张和海外市场的拓展。

日本显示器公司（JDI）开发了“eLeap”技术，旨在突破 FMM 的局限性，但该技术尚未得到广泛采用。全球 OLED 面板市场大致分为两条主要技术路线，即 8.6 英寸生产线上的传统 FMM 技术和无 FMM 技术。三星显示器和京东方采用 FMM 技术路线，计划在 2026 年实现大规模生产。

中文名称：高精度金属掩模

应用领域：OLED 面板制造

材料类型：金属或金属与树脂的混合物

主要制造商：DNP、众凌科技、寰采星科技

国内创新成果：众凌科技、寰采星科技

市场需求：预计到 2030 年将达到 128.2 亿元人民币

技术挑战：材料变形控制

FMM是OLED蒸发工艺中的核心消耗性组件，其制造技术具有极高的进入壁垒。早期，全球 FMM 市场被日本企业所垄断，其中 DNP占据主导地位，曾占据全球市场超过 90%的份额。DNP 不仅与三星显示等面板制造商签订了供应协议，还从日本日立金属公司获取高端的Invar材料，形成了从原材料到成品的完整产业链壁垒。韩国和中国的面板制造商长期以来一直依赖进口，承担着高昂的采购成本，并受到外部控制。

为了打破外国的垄断局面，并确保国内 OLED 产业链的安全，许多中国企业从 2019 年起就开始进行 FMM的研发和产业化工作。例如，深圳浚漪科技于 2019 年正式启动了第六代 OLED 高精度金属掩模的研发工作。2021 年，浚颍光电（与浚漪科技有关）宣布实现了 FMM 的大规模生产，这标志着国产 FMM 从零开始取得了重大突破。

从 2023 年到 2024 年，中国国内的 FMM产业进入了快速发展阶段。国内企业如寰采星科技和众凌科技相继实现了 G6 代 FMM 的大规模量产，并成功将其引入国内面板生产线，开始打破外国的垄断局面。尤其是寰采星科技，在 2023 年实现了 FMM 的大规模量产，并将其引入了和辉光电的生产线。

随着京东方和三星显示等全球面板巨头开始建设 G8.6 代 AMOLED 生产线，大尺寸、高精度 FMM 的市场需求大幅增长，从而引发了新一轮的技术竞争。为满足市场需求，日本的 DNP 公司于 2024 年上半年宣布在福冈启动其 G8 代 FMM 生产线。韩国的丰原精密等公司也在加快其 G8 代 FMM 的大规模生产计划。中国企业在 G8.6 代 FMM 的研发和大规模生产方面取得了一系列关键突破。2025 年，众凌科技和山西太钢精密带钢公司联合开发了用于宽幅 FMM 的 Invar 金属带材，实现了大规模生产，并突破了国内关键上游原材料生产的瓶颈。同年 11 月，寰采星科技完成了中国首条完整 G8.6 代 FMM 生产线的搬迁，实现了从 G6 到 G8 代的“跨越”。南京高光也于 2025 年推出了 G8.6 代高精度金属掩膜产品。

进入 2026 年，高世代 FMM 的产业化进程继续推进，寰采星科技的 G8.6 代 FMM 生产线预计将于 2026 年实现量产。下游面板生产线方面，京东方的 G8.6 AMOLED 生产线于 2025 年 12 月成功点亮了其第1款产品，而三星显示也在 2026 年 1 月开始大规模生产其 G8.6 AMOLED 面板，这直接推动了对 G8.6 代 FMM 的明确需求。国内企业如寰采星科技和众凌科技正通过持续的产能扩张和技术迭代努力在未来的全球市场竞争中占据更重要的地位。

技术原理：FMM 是 OLED 蒸镀过程中的核心精密模具。其作用是通过数以万计的 20 微米至 30 微米的细小孔隙帮助 OLED 有机材料沉积，从而形成显示像素。FMM 的结构精细度直接决定了 AMOLED 面板的像素密度（PPI）。

光纤金属微管的核心原材料是Invar合金（通常为Invar36 号合金），这种合金的热膨胀系数极低。其厚度通常为 20 至 30 微米，有时甚至薄至 18 微米。

FMM的主要制造工艺包括蚀刻、电铸和多材料复合工艺。蚀刻主要针对的是镍铬合金板进行蚀刻；日本的代表制造商有 DNP 和 TOPPAN。电铸能生产出更薄的 FMM；日本的代表制造商有 Athene 和 Hitachi Maxell。多材料复合工艺主要采用树脂和金属材料的混合物来应对热膨胀问题。

从FMM的形状角度来看，它们可以分为槽型和狭缝型。一个缝隙金属膜主要由五个部分组成：框架、盖板、支撑件、对齐杆和细杆；其制造工艺被称为网状制造。

FMM 生产面临着极其高的技术壁垒。孔径精度必须控制在微米级别，例如±2.5 微米。对于较大的尺寸，由于重力和热应力引起的变形（蠕变）而存在挑战。对原材料的纯度和均匀性也有严格要求。用于硅基 OLED（OLEDoS）的 FMM 技术要求更高，需要通过电铸等方法在硅基板上进行制造，以实现数千个 PPI 的像素密度。

未来趋势

随着面板生产线向 G8.6 及更高规格发展，FMM尺寸也随之增大。在制造和使用过程中，由于重力、压力和磁应力等因素导致的蠕变、弯曲和下垂等问题愈发明显。变形控制成为了大规模生产中的一个重大挑战。与此同时，在高温环境下对孔径精度、材料均匀性和形状稳定性的要求也在不断提高。

高端的Invar合金（尤其是厚度低于 50 微米的产品）长期以来一直由日立金属公司垄断供应给 DNP 公司，这严重阻碍了中国FMM产业的发展。尽管像中领科技这样的国内企业与太原钢铁集团合作，在国产Invar材料（宽度 400 毫米，厚度 25 微米）的量产方面取得了突破，但在综合规格覆盖范围（例如 15 微米级别）和稳定量产方面，它们仍落后于国际先进水平。

2022 年，日本的 JDI 开发了“eLeap”技术，该技术采用无掩模沉积和光刻工艺，无需 FMM 即可制造 OLED，将像素密度提高到 800ppi。如果这项技术得到广泛应用，预计将解决 FMM 的高成本、长交货期和高小订单要求等痛点，从而可能减少对 FMM 的需求。此外，印刷 OLED 技术还绕过了蒸发设备和 FMM，具有高材料利用率和低成本等优势，使其成为另一种重要的替代技术。

FMM 产品将朝着更薄（例如 15 微米）、更精细（更高的像素密度，例如大于 550ppi）、更宽和更长的方向发展（适用于大尺寸面板，如 G8.6）。例如，寰采星科技展示了世界上长的 G8.6 代 FMM 样品，长度为 1.7 米，宽处为 480 毫米。随着三星显示和京东方等主要面板制造商投资 G8.6 代 AMOLED 生产线，对 FMM 的需求将持续增长，预计到 2030 年全球市场规模将达到 128.2 亿元。市场竞争格局正从日本 DNP 的垄断转向多元化，中国（例如寰采星科技、众凌科技）和韩国（例如丰原精密）等公司的崛起推动了这一转变。中国的 FMM 行业正从“国内生产突破”转向“提高良率、扩大产能并进入全球市场”。国内公司如寰采星科技和众凌科技已经实现了 G8.6 代 FMM 的试生产或整线搬迁，并正在积极规划新的产能以满足下游高世代生产线的需求。

上述文章引用了来自百度百科的相关资料：FMM_百度百科

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