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蚀刻的核心挑战:通过化学或物理手段在金属上实现微米级精度。
蚀刻知识
引线框架蚀刻工艺:半导体引线框架的制造过程
2026-04-03

引言

在半导体封装领域,引线框架在将芯片与外部电路连接起来方面起着至关重要的作用。随着电子设备变得越来越小巧且功能越来越强大,引线框架所需的制造精度也在不断提高。

如今,引线框架通常通过冲压或化学蚀刻工艺来制造。在这两种方法中,化学蚀刻因其能够制造出高精度的微结构而变得愈发重要。

这篇文章介绍了引线框架的蚀刻工艺以及关键的制造步骤
Chemical etching equipment for semiconductor lead frame manufacturing.jpg

材料准备

引线框架通常由以下材料制成:

铜合金

不锈钢

这些材料通常以金属薄板或金属卷的形式供应,以供生产使用。


光刻胶涂层

在蚀刻之前,会在金属表面涂上一层光刻胶

步骤包括:

表面清洁

光刻胶涂层

干燥过程

在蚀刻过程中,光刻胶起到了保护层的作用。


图案曝光与开发

通过光刻技术,引线框架的图案被转移到金属表面。

此阶段包括:

掩膜对齐

紫外线照射

显影

完成这一步骤后,金属表面便形成了[敏感词]的电路图案。


化学蚀刻

化学蚀刻是引线框架制造流程中的核心步骤。

在蚀刻过程中,暴露出来的金属区域会因喷洒在金属表面的蚀刻化学物质的作用而被溶解掉。

其优点包括:

高精度加工

微图案制造

均匀的蚀刻质量


光刻胶去除与清洗

蚀刻完成后,剩余的光刻胶会被清除掉。

流程包括:

光刻胶剥离

表面清洁

干燥

这确保了引线框架的表面符合半导体封装的要求。


检查

后阶段包括产品检验:

尺寸精度检查

表面质量检查

结构完整性检查

华洲用于引线框架生产的化学蚀刻设备

东莞华洲机械科技有限公司专注于精密金属化学蚀刻设备的研发与制造。

我们的设备广泛应用于以下行业:

半导体引线框架

精密电子元件

金属过滤网

汽车电子零部件

氢燃料电池双极板

华洲蚀刻设备的主要特点

高精度喷射蚀刻系统

先进的喷射蚀刻技术确保了蚀刻效果的均匀性和极高的加工精度。

自动化生产线

我们的系统能够实现持续的自动化生产,从而提高生产效率。

多材料加工能力

华洲蚀刻设备能够处理多种金属,包括:

不锈钢

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环保技术

我们的设备采用了优化的化学系统设计,旨在降低对环境的影响并提高可持续性。

高品质产品需要采用高端装备及工艺技术

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